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> 對(duì)準(zhǔn)形變
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華虹集成電路（成都）申請(qǐng)對(duì)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變的監(jiān)控方法，有效發(fā)現(xiàn)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變:顆粒機(jī)
金融界2025年6月17日消息，國(guó)家知識(shí)信息顯示，華虹集成電路（成都）有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“對(duì)細(xì)微顆粒物造成的光刻機(jī)掩模版形變的監(jiān)控方法”的，公開(kāi)號(hào)CN120161667A，申請(qǐng)日期為2025年03月
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